半導体製造装置半導体のリソグラフィー装置とは?【種類と役割をわかりやすく解説】 半導体のリソグラフィープロセスについて知りたいですか?本記事では、半導体製造におけるリソグラフィープロセスと装置の種類・特徴を紹介します。初心者の方にもわかりやすいように解説するので、ぜひ参考にしてください。2022.05.06半導体製造装置