乾燥

半導体の洗浄装置について勉強したいですか？本記事では、半導体の洗浄・乾燥工程で使われる洗浄装置の特徴を紹介します。洗浄の役割から装置の種類、構成、各メーカーのシェアをわかりやすく解説するので、ぜひ参考にしてください。